【標準仕様】

　●真空槽　1,200～1,800φ（SUS304）

　●制御系はタッチパネル方式を採用

　　・シーケンサ制御

　●油拡散ポンプ　26～28インチ　2台

　●メカニカルブースタポンプ　1台

　●油回転真空ポンプ　10,000ℓ/min　2台

　●真空測定系

　　・ペニング真空計＋ピラニ真空計

 

【オプション / その他】

　●プラズマ重合（保護膜）RF機構

　●イオンプレーティング（密着膜）RF機構

　●遠隔操作機構

　　・トラブルの早期発見

　●冷凍機

　　・ポリコールド、スーパートラップ

　●冷水循環装置（屋外型）

　　・電源、ポンプ系の冷却

 

 

 

【標準仕様】

　●真空槽　1,400φ（SUS304）

　●制御系はタッチパネル方式を採用

　　・シーケンサ制御

　●6インチマル型スパッタ電極8式

　　・千鳥格子配列

　　・ターゲットはワンタッチで取付け、取外しが可能

　●直流スパッタ電源20kw　2台

　●油拡散ポンプ　26インチ　2台

　●メカニカルブースタポンプ　1台

　●油回転真空ポンプ　10,000ℓ/min　2台

　●真空測定系

　　・ペニング真空計＋ピラニ真空計

 

【オプション / その他】

　●プラズマ重合（保護膜）RF機構

　●遠隔操作機構

　　・トラブルの早期発見

　●冷凍機

　　・ポリコールド、スーパートラップ

　●冷水循環装置（屋外型）

　　・電源、ポンプ系の冷却